MRP系列磁流体抛光机
MRP300/600/1000磁流变抛光机
其它系列产品

MRP系列磁流变抛光机,采用特殊配置的磁流体抛光液,在磁场的精确控制下对光学镜片进行抛光,具有极高的加工精度,适用于绝大多数应用场合下的最终加工工序。

材料适用性:石英、微晶、ULE、BK7、单晶硅、SiC等

形状适用性:平面、球面、二次曲面、高次非球面、自由曲面

加工精度:优于1/100λ(λ=632.8nm)RMS

表面粗糙度:优于0.5nm RMS

 

  • 产品优势
  • 产品参数
产品优势

技术优势
抛光颗粒沿光学表面切向划擦,不产生裂纹,得到近零疵病的表面;可实现纳米量级材料去除分辨率,加工精度高;材料去除稳定性24小时内优于2%,加工确定性好;单位面积的材料去除率与小磨头抛光相当,加工效率高;5轴联动,适应一般高次非球面和自由曲面加工。

产品优势

1、高精度高动态运动系统
机床由天然花岗石材料搭建成龙门式床身,花岗石材料手工研磨成高精度基准,导轨选用国际高端品牌超精密级,使得各直线轴均具有优于3微米的运动直线度。各直线轴采用直线电机驱动,经高分辨率光栅尺反馈,实现优于±1微米的重复定位精度,同时实现大于0.5g(g=9.8m/s2)的加速度,快速精准定位。

2、高性能控制系统
国际高端品牌数控系统,真正实现6轴5联动高精度控制。支持标准数控G代码程序,可实现NC文件队列执行,实现远程或无人值守的机器自动化。最高可到0.1nm的坐标显示精度。
3、安全且友好的操作模式
配置触摸屏、物理按钮面板、简易手轮三种操作模式,物理按键面板包括急停、启停、进给倍率调整、各轴step进给和快速进给、轴选等按钮或旋钮,操作安全快捷,手轮包括基本的轴选、轴运动、step进给功能,方便近距离操作机床,且具备安全锁止机构。

4、丰富的拓展性
六轴运动末端配备快速夹持接口,可根据客户的不同需求,快速挂载不同的抛光加工工具,如磁流变功能头、球囊抛光功能头等,变成不同类型的加工机床。同时,在控制系统和操作面板上预留自定义接口和功能按钮,实现上述不同功能单元的统一控制和操作。

5、集成自动对刀系统
采用视觉摄像头+精密触发探针结合的对刀模式,直接得到光学元件Z向坐标、误差相位(与干涉测量结果匹配)、口径缩放等多元信息,实现多功能自动对刀。

6、模块化的抛光头和循环系统设计
采用模块化的抛光头和循环系统设计,抛光头按照磁场发生单元、喷射回收单元、机械运动单元三部分功能单元独立设计,且具有快速拆装接口,方便拆装维护。循环系统采用优化的布局,占地空间小,自带独立的操作系统。抛光头和循环系统均带有与机床的机械安装和电气控制接口,可独立使用,也可集成到机床上协同使用。

7、专利设计的易拆洗离心泵组件
在定期更换磁流变抛光液时,需要更换管路并清洗储液罐。最新款离心泵和储液罐组件采用全新的专利设计,核心零件采用特殊的防污和抗磨损材料制造,避免磁流变液的黏附及抛光磨损,单次拆洗时间缩短50%以上,核心零件使用寿命提升100%以上。


8、高精度流量控制稳定性和去除函数稳定性
采用专利稳流控制技术,实现了长时间高精度流量控制稳定性,从而确保在较长的加工过程中维持稳定的材料去除特性(下图所示为流量实测数据,20小时内流量稳定性为1.21%,试验参数为:流量120L/h,抛光轮转速200rpm)。

9、不断迭代且免费升级的工艺软件
专业的工艺软件,支持所有版本的win7和win10系统,已经更新到V1.6版本,支持20阶非球面方程输入、等高和非等高离轴曲面方程输入、自由曲面点云数据和多项式数据输入等功能,带有矢高校验功能,支持0.5mm以下的极小扫描间隔加工,支持中心带孔的光学元件的加工,支持圆形、方形、椭圆形、多边形等多种轮廓。并在不断开发新功能,如局部修边功能、任意不规则轮廓定义功能、机床速度加速度校验功能等。所有功能提供终生免费升级维护。
产品参数
项目
MRP300
MRP600
MRP1000
床身材料 天然花岗岩
运动轴数 X/Y/Z/A/B/C六轴五联动
加工空间 400×400×150mm 700×700×200mm 1100×1100×250mm
最大可加工工件尺寸(φ×H) 300×150mm 600×200mm 1000×250mm
驱动形式 直线电机
重复定位精度 X/Y/Z优于±1μm X/Y/Z优于±2μm X/Y/Z优于±3μm
A/B/C ±10" A/B/C ±10" A/B/C ±10"
最大运动速度 X/Y/Z 3000mm/min
A/B/C 20rpm
抛光轮尺寸 70mm/200mm 70mm/200mm/340mm 200mm/340mm
抛光轮最大转速 750rpm/300rpm 750rpm/300rpm/200rpm 300rpm/200rpm
抛光轮最大跳动 3μm/8μm 3μm/8μm/20μm 8μm/20μm
流量循环稳定性 0.5% (4h) 0.5% (4h) 2% (4h)
粘度循环稳定性 0.2% (4h) 0.2% (4h) 0.2% (4h)
去除函数稳定性 2% (4h) 2% (4h) 5% (4h)
外形尺寸 (长×宽×高) 4000mm×3000mm×2200mm 4500mm×3500mm×3000mm 5000mm×4500mm×3800mm
产品质量 4000kg 9000kg 14500kg
工作气压 0.7Mpa 0.7Mpa 0.7Mpa
工作功率 13KW 18KW 21KW
工作电压 三相交流3×380V±10% 三相交流3×380V±10% 三相交流3×380V±10%
环境温度 20±2℃ 20±2℃ 20±2℃
湿度范围 ≤50% ≤50% ≤50%
加工精度 批量生产水平:优于1/70λ (λ=632.8nm) RMS
实验室水平:优于1/100λ (λ=632.8nm) RMS