APP系列数控小工具头抛光机应用案例二:研磨修形(200λ PV→8λ PV,熔石英)
• 初始状态:表面为毛面,面形误差207λ PV左右。
• 最终状态:表面粗糙度小于5nm,面形误差优于8λ PV。
• 工艺过程:小磨头研磨3至4次。
•加工时间:600mm口径光学元件,120~140小时在机加工时间。
•典型案例:熔石英材料,370mm×370mm方形工件,二次曲面形状,初始面形精度 207.504λ PV,最终面形精度8.137λ PV,在机加工时间66小时。